| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING DEFECT IN CYCLIC PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10253332(A) |
申请公布日期 |
1998.09.25 |
| 申请号 |
JP19970057345 |
申请日期 |
1997.03.12 |
| 申请人 |
NIRECO CORP;OLYMPUS OPTICAL CO LTD |
发明人 |
KAWAMICHI KENICHI;KAWASHIMA MASAYUKI;MORITA AKIMASA |
| 分类号 |
G01B11/24;G01N21/88;G01N21/94;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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