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发明名称 METHOD FOR EXPOSURE TO CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 JPH10256129(A) 申请公布日期 1998.09.25
申请号 JP19970058750 申请日期 1997.03.13
申请人 NEC CORP 发明人 EMA TAKAHIRO
分类号 H01L21/027;H01J37/302;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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