发明名称 Struktur, die eine dünne Schicht aus einem ferroelektrischen Kristall enthält, Verfahren zur Herstellung und diese Struktur verwendende Vorrichtung
摘要
申请公布号 DE69412579(D1) 申请公布日期 1998.09.24
申请号 DE19946012579 申请日期 1994.12.23
申请人 SHARP K.K., OSAKA, JP 发明人 SATOH, SAKIKO, YACHIYO-SHI, CHIBA-KEN, JP;MATSUNAGA, HIRONORI, NODA-SHI, CHIBA-KEN, JP;NAKANISHI, KENJI, INBA-GUN, CHIBA-KEN, JP;MASUDA, YOSHIYUKI, NODA-SHI, CHIBA-KEN, JP;KOBA, MASAYOSHI, NARA-SHI, NARA-KEN, JP
分类号 H01L21/8247;H01L21/02;H01L27/10;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792;H01L41/18;H01L49/02;(IPC1-7):H01L29/43;H01L21/283 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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