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发明名称
Struktur, die eine dünne Schicht aus einem ferroelektrischen Kristall enthält, Verfahren zur Herstellung und diese Struktur verwendende Vorrichtung
摘要
申请公布号
DE69412579(D1)
申请公布日期
1998.09.24
申请号
DE19946012579
申请日期
1994.12.23
申请人
SHARP K.K., OSAKA, JP
发明人
SATOH, SAKIKO, YACHIYO-SHI, CHIBA-KEN, JP;MATSUNAGA, HIRONORI, NODA-SHI, CHIBA-KEN, JP;NAKANISHI, KENJI, INBA-GUN, CHIBA-KEN, JP;MASUDA, YOSHIYUKI, NODA-SHI, CHIBA-KEN, JP;KOBA, MASAYOSHI, NARA-SHI, NARA-KEN, JP
分类号
H01L21/8247;H01L21/02;H01L27/10;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792;H01L41/18;H01L49/02;(IPC1-7):H01L29/43;H01L21/283
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
主权项
地址
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