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发明名称
摘要
申请公布号 JP2803687(B2) 申请公布日期 1998.09.24
申请号 JP19910087115 申请日期 1991.04.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/52;H01L21/336;H01L21/8222;H01L27/082;H01L29/40;H01L29/739;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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