| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR MACHINING AND COVER THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10256194(A) |
申请公布日期 |
1998.09.25 |
| 申请号 |
JP19970070555 |
申请日期 |
1997.03.06 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
OKU SATORU;ITAYA YOSHIO;NAKAO MASASHI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/321 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
