| 发明名称 |
Apparatus for Sensing RF Current Delivered to a Plasma and¹Waveform Sampling Circuit for Use with such Apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IE980189(A1) |
申请公布日期 |
1998.09.23 |
| 申请号 |
IE19980000189 |
申请日期 |
1998.03.16 |
| 申请人 |
SCIENTIFIC SYSTEMS RESEARCH LIMITED, |
发明人 |
MICHAEL HOPKINS |
| 分类号 |
A23L2/42;A23F5/24;A23F5/26;A23L2/38;A23L2/46;(IPC1-7):H05H7/02;G01R19/15 |
主分类号 |
A23L2/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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