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发明名称 A method for forming ultra-fine structures
摘要
申请公布号 EP0493137(B1) 申请公布日期 1998.09.23
申请号 EP19910312089 申请日期 1991.12.30
申请人 RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION OF JAPAN;MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD 发明人 YAMASHITA, ICHIRO;NANBA, KEIICHI
分类号 C07K14/255;C07K14/00;H01B1/12;(IPC1-7):C07K14/00;H01B1/20;H01B1/22;H01B1/24;H01B3/18 主分类号 C07K14/255
代理机构 代理人
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