发明名称 METHOD OF COATING PHOTORESIST
摘要 PURPOSE:To prevent improper side etching at etching step in a formation of electrode such as in a liquid crystal display.
申请公布号 JPS51138433(A) 申请公布日期 1976.11.30
申请号 JP19750062704 申请日期 1975.05.26
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MORI YASUMASA;KOJIMA KENZOU
分类号 G03C1/74;B05D7/24;G03F7/16;G09F9/35 主分类号 G03C1/74
代理机构 代理人
主权项
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