| 发明名称 |
Vorrichtung fuer das epitaktische Abscheiden von Halbleitermaterial aus der Gasphase |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1267200(B) |
申请公布日期 |
1968.05.02 |
| 申请号 |
DE19641267200 |
申请日期 |
1964.11.02 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
KAPPELMEYER DIPL.-ING. RUDOLF;SCHLUETER KURT;STEGGEWENTZ DIPL.-PHYS. HERMANN |
| 分类号 |
C30B23/00;C30B25/12;C30B35/00;H05B3/64;(IPC1-7):C23C13/02 |
主分类号 |
C30B23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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