发明名称 铟镓砷光电探测器
摘要 铟镓砷光电探测器,属于微电子学光电子技术领域。本发明是由衬底、缓冲层、吸收层、InP增强层、薄P型InP增强层、金属电极组成。本发明可获得比仅用InP势垒增强层更为高的势垒高度,仍然保持其晶格匹配,高速、低暗电流,工艺简单的优点,是一种广泛应用于光纤通讯领域中的更为理想的光电探测器。
申请公布号 CN1039956C 申请公布日期 1998.09.23
申请号 CN93112365.8 申请日期 1993.03.13
申请人 上海交通大学 发明人 史常忻;王庆康
分类号 H04B10/02;H01L49/00;H01L27/14;H01L33/00 主分类号 H04B10/02
代理机构 上海交通大学专利事务所 代理人 匡宗德
主权项 1、一种铟镓砷光电探测器,它由衬底(1)、缓冲层(2)、吸收层(3)、非掺杂磷化铟(InP)增强层(4)、金属电极(5)组成,其特征在于在非掺杂磷化铟(InP)增强层(4)上再生长一层薄P型掺杂磷化铟(InP)增强层(6)。
地址 200030上海市华山路1954号