发明名称 Method of making ceramic microstructures from polymer precursors
摘要
申请公布号 EP0624558(B1) 申请公布日期 1998.09.23
申请号 EP19940107201 申请日期 1994.05.09
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT;INSTITUT FUER MIKROTECHNIK MAINZ GMBH 发明人 BRUECK, MARTIN .;VAAHS, TILO, DR.;BOECKER, WOLFGANG, DR.;EHRFELD, WOLFGANG, PROF. DR.;LACHER, MANFRED;GIEBEL, LUDWIG
分类号 C04B35/571;B28B1/30;C04B35/00;C04B35/589;C04B35/622;(IPC1-7):C04B35/00 主分类号 C04B35/571
代理机构 代理人
主权项
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