| 发明名称 |
SILICON COMPOSITION, PATTERN-FORMING METHOD USING THE COMPOSITION AND PRODUCTION OF ELECTRONIC PART |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10251519(A) |
申请公布日期 |
1998.09.22 |
| 申请号 |
JP19970063277 |
申请日期 |
1997.03.17 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KANI RIKAKO;HAYASE SHUJI;MIKOSHIBA SATOSHI;NAKANO YOSHIHIKO;SATO YASUHIKO |
| 分类号 |
B05D7/24;C08G77/12;C08L83/05;H01L21/312;(IPC1-7):C08L83/05 |
主分类号 |
B05D7/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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