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发明名称 VACUUM PRESSURE CONTROL SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10252942(A) 申请公布日期 1998.09.22
申请号 JP19970064502 申请日期 1997.03.18
申请人 CKD CORP 发明人 KOKETSU MASAYUKI
分类号 F16K51/02;B01J3/03;G05D16/20;H01L21/02;(IPC1-7):F16K51/02 主分类号 F16K51/02
代理机构 代理人
主权项
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