发明名称 APPARATUS FOR PRODUCTION OF FLUORITE SINGLE CRYSTAL AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH10251097(A) 申请公布日期 1998.09.22
申请号 JP19970055265 申请日期 1997.03.10
申请人 NIKON CORP;OYO KOKEN KOGYO KK 发明人 KITAMURA IKUO;MIZUGAKI TSUTOMU;TAKANO SHUICHI;NISHIKAWA HIDEMI
分类号 G02B1/02;C30B11/00;C30B29/12;H01L21/027;(IPC1-7):C30B29/12 主分类号 G02B1/02
代理机构 代理人
主权项
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