发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCTION OF FLUORITE SINGLE CRYSTAL AND ITS PRODUCTION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10251097(A) |
申请公布日期 |
1998.09.22 |
申请号 |
JP19970055265 |
申请日期 |
1997.03.10 |
申请人 |
NIKON CORP;OYO KOKEN KOGYO KK |
发明人 |
KITAMURA IKUO;MIZUGAKI TSUTOMU;TAKANO SHUICHI;NISHIKAWA HIDEMI |
分类号 |
G02B1/02;C30B11/00;C30B29/12;H01L21/027;(IPC1-7):C30B29/12 |
主分类号 |
G02B1/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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