发明名称 GROWING METHOD OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH10251100(A) 申请公布日期 1998.09.22
申请号 JP19970054821 申请日期 1997.03.10
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UEDA TAKASHI;GOTO OSAMU
分类号 C30B29/40;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/40 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
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