发明名称
摘要
申请公布号 JP2800457(B2) 申请公布日期 1998.09.21
申请号 JP19910119687 申请日期 1991.05.24
申请人 发明人
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/778;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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