发明名称
摘要
申请公布号 JP2801127(B2) 申请公布日期 1998.09.21
申请号 JP19930186450 申请日期 1993.07.28
申请人 发明人
分类号 H01L29/744;H01L21/329;H01L21/332;H01L21/335;H01L29/739;H01L29/74;H01L29/80;(IPC1-7):H01L29/74 主分类号 H01L29/744
代理机构 代理人
主权项
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