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发明名称 Mit einer Antireflexionszusammensetzung überzogenes Substrat und Verfahren zur Behandlung eines solchen Substrats.
摘要
申请公布号 DE69226603(D1) 申请公布日期 1998.09.17
申请号 DE19926026603 申请日期 1992.10.22
申请人 SHIPLEY CO., INC., NEWTON, MASS., US 发明人 THACKERAY, JAMES W., BRAINTREE, MASSACHUSETTS 02184, US;ORSULA, GEORGE W., AVON, MASSACHUSETTS 02322, US
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/11;G03F7/40 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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