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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines optischen Halbleiterelements
摘要
申请公布号 DE69224335(T2) 申请公布日期 1998.09.17
申请号 DE1992624335T 申请日期 1992.07.30
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KITAMURA, SHOTARO, C/O NEC CORPORATION, TOKYO, JP
分类号 H01L21/20;H01L27/15;H01S5/00;H01S5/227;H01S5/50;(IPC1-7):H01L33/00;H01S3/19;H01S3/25;H01S3/085 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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