发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Nut in einer Halbleiter-Laserdiode und Halbleiter-Laserdiode
摘要
申请公布号 DE69502211(T2) 申请公布日期 1998.09.17
申请号 DE19956002211T 申请日期 1995.01.30
申请人 MITSUBISHI CHEMICAL CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HORIE, HIDEYOSHI, C/O MITSUBISHI CHEMICAL CORP., USHIKU-SHI, IBARAKI-KEN, JP;FUJIMORI, TOSHINARI, C/O MITSUBISHI CHEMICAL CORP., USHIKU-SHI, IBARAKI-KEN, JP;NAGAO, SATORU, C/O MITSUBISHI CHEMICAL CORP., USHIKU-SHI, IBARAKI-KEN, JP;HOSOI, NOBUYUKI, C/O MITSUBISHI CHEMICAL CORP., USHIKU-SHI, IBARAKI-KEN, JP;GOTO, HIDEKI, C/O MITSUBISHI CHEMICAL CORP., USHIKU-SHI, IBARAKI-KEN, JP
分类号 H01L33/00;H01S5/20;H01S5/22;H01S5/223;H01S5/227;(IPC1-7):H01S3/19;H01L21/306 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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