发明名称 Reaktives Mehrfachquelle-Abscheideverfahren zur Herstellung blaulichtemittierende Phosphorschichten für AC-TFEL-Vorrichtungen
摘要
申请公布号 DE69503934(D1) 申请公布日期 1998.09.17
申请号 DE19956003934 申请日期 1995.02.13
申请人 PLANAR SYSTEMS, INC., BEAVERTON, OREG., US 发明人 VELTHAUS, KARL-OTTO, D-10965 BERLIN, DE;MAUCH, REINER H., D-70197 STUTTGART, DE;OBERACKER, ACHIM T., D-71116 GARTRINGEN, DE;SCHOCK, HANS-WERNER, D-70563 STUTTGART, DE;SUN, SEY-SHING, BEAVERTON, OREGON 97007, US;WENTROSS, RANDALL C., PORTLAND, OREGON 97201, US;TUENGE, RICHARD T., HILLSBORO, OREGON 97123, US
分类号 C09K11/77;C09K11/88;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/54;H01L21/363;H05B33/10;(IPC1-7):C09K11/88;C09K11/84 主分类号 C09K11/77
代理机构 代理人
主权项
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