| 发明名称 |
Process for the fabrication of spatially structured devices |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von räumlich strukturierten Bauteilen 10 aus einem Körper 1, bei dem auf der Rückseite des Körpers 1 eine Verzögerungsschicht 8 mit Durchbrechungen 9 zum Verzögern eines Abtragvorgangs des Materials des Körpers vorgesehen wird, auf der Rückseite des Körpers 1 Gebiete 5 aus einem migrationsfähigen Material aufgebracht werden, der Körper 1 einem thermischen Migrationsverfahren unterzogen wird, so daß Migrationsbereiche 7 entstehen, und dann die Bauteile 10 in einem einzigen Abtragvorgang aus dem Körper 1 herausgetrennt und die Migrationsbereiche 7 freigelegt werden. <IMAGE></p> |
| 申请公布号 |
EP0865075(A2) |
申请公布日期 |
1998.09.16 |
| 申请号 |
EP19980102579 |
申请日期 |
1998.02.14 |
| 申请人 |
MICRONAS GMBH |
发明人 |
IGEL, GUENTHER, DIPL.-ING.;MALL, MARTIN, DR. DIPL.-PHYS. |
| 分类号 |
H01L23/34;B81C1/00;H01L23/36;(IPC1-7):H01L21/24;H01L21/48;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L23/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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