| 发明名称 |
Method for fabricating a thin film transistor. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0637837(A3) |
申请公布日期 |
1998.09.16 |
| 申请号 |
EP19940401764 |
申请日期 |
1994.08.01 |
| 申请人 |
GOLDSTAR CO. LTD. |
发明人 |
KIM, JEONG HYUN;OH, EUI YEOL |
| 分类号 |
C23C16/56;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336 |
主分类号 |
C23C16/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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