发明名称 Procédé de formation d'une couche de nitrure de silicium
摘要
申请公布号 FR1535579(A) 申请公布日期 1968.08.09
申请号 FR19670111449 申请日期 1967.06.22
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人
分类号 H01L21/318 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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