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发明名称 Residue removal by supercritical fluids
摘要
申请公布号 EP0836895(A3) 申请公布日期 1998.09.16
申请号 EP19970307272 申请日期 1997.09.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MCCULLOUGH, KENNETH JOHN;PURTELL, ROBERT JOSEPH;ROTHMAN, LAURA BETH;WU, JIN-JWANG
分类号 H01L21/302;B08B7/00;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):B08B7/00;H01L21/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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