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SE PROPORCIONA UN ELEMENTO SENSOR QUE TIENE UN CUERPO (12) DE SILICONA LUBRICADO CON BORO SITUADO POR ENCIMA Y PARALELO A UN SUBSTRATO (10) CON UNA DIVERSIDAD DE APERTURAS (50,51) QUE SE EXTIENDEN A TRAVES DE UN CUERPO SEMICONDUCTOR, PRODUCIENDO LA DIVERSIDAD DE APERTURAS (50,51) UNA AMORTIGUACION TAL QUE SE MODIFICAN LA FRECUENCIA NATURAL Y EL ANCHO DE BANDA DE MEDICION DEL ELEMENTO SENSOR. EL CUERPO (12) SE PUEDE GIRAR SOBRE UN EJE DE FLEXION (28) SITUADO POR ENCIMA Y PARALELO AL SUBSTRATO (10). |
