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发明名称 THERMAL PROCESSING APPARATUS AND PROCESS
摘要
申请公布号 EP0864170(A1) 申请公布日期 1998.09.16
申请号 EP19960941440 申请日期 1996.11.22
申请人 SILICON VALLEY GROUP, INC. 发明人 KOBLE, TERRY, A., JR.;DIP, ANTHONY;ENGDAHL, ERIK, H.;OLIVER, IAN, R.;RATLIFF, CHRISTOPHER, T.
分类号 H01L21/22;H01L21/00;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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