| 摘要 |
<p>1. 청구범위에 기재된 고안이 속한 기술분야 기포제거 도포장치 2. 고안이 해결하려고 하는 기술적 과제 장치 내에 도포 용액에 진공압을 작용시키는 수단을 구비하므로써, 작업성을 저하시키지 않으면서 효과적으로 기포제거 작업을 수행할 수 있는 기포제거 도포장치를 제공하고자 함. 3. 고안의 해결 방법의 요지 반도체 제조 공정에서, 도포되는 용액 내에서 발생된 기포를 제거하기 위한 기포제거 도포장치에 있어서, 그의 단부에 노즐이 장착되며, 상기 노즐을 통해 피도포물체의 상면에 도포 용액을 공급하는 용액 공급수단; 상기 용액 공급수단 및 상기 용액 공급수단이 도포하는 피도포물체의 도포면의 주위를 감싸서 밀폐시키며, 진공압을 인가 받아 그 내부의 기압을 외부보다 낮게 유지시키기 위한 진공 밀폐수단을 포함하여 이루어진 기포제거 도포장치를 제공함. 4. 고안의 중요한 용도 도포 용액을 사용하는 분야에서 널리 적용되며, 효과적으로 기포제거가 가능하므로 향상된 품질의 제품을 얻을 수 있으며, 또한, 도포 공정의 속도를 증대시키므로, 생산성 및 장비의 가동률을 향상시키는 효과가 있다.</p> |
