SPANNUNGSDURCHBRUCHFESTE HALBLEITERBAUELEMENTE AUS EINKRISTALL-SILIZIUMKARBID UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG,申请号AT19950918347T-传众专利搜索

发明名称	SPANNUNGSDURCHBRUCHFESTE HALBLEITERBAUELEMENTE AUS EINKRISTALL-SILIZIUMKARBID UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号	AT170668(T)	申请公布日期	1998.09.15
申请号	AT19950918347T	申请日期	1995.05.02
申请人	NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY	发明人	BALIGA, BANTVAL, JAYANT;ALOK, DEV
分类号	H01L21/04;H01L21/265;H01L21/329;H01L29/06;H01L29/24;H01L29/47;H01L29/861;H01L29/872;(IPC1-7):H01L29/06;H01L21/18	主分类号	H01L21/04
代理机构		代理人
主权项
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