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发明名称
필터폐기장치
摘要
케미컬이 여과된 필터를 수거하여 폐기시키는 본 고안의 필터폐기장치는 케미컬이 잔재된 필터를 여러차례 신나 등의 용제로 처리하여 필터에서 케미컬 성분을 제거시킨 후, 공정중에 배기되는 케미컬과 용제를 배기관을 통하여 폐기물탱크에 저장시키어 한꺼번에 폐기물 수거가 가능하고, 또한 케미컬이 제거된 필터는 한꺼번에 폐기처분시킴으로써 분리수거에 용이하다. 따라서, 본 고안의 필터폐기장치에서는 폐기물 방출에 의해 환경이 오염방지에 적합하다.
申请公布号
KR19980036034(U)
申请公布日期
1998.09.15
申请号
KR19960049023U
申请日期
1996.12.13
申请人
null, null
发明人
박은수
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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