| 摘要 |
본 고안은 균일한 양의 공정용액 토출을 가능하게 함과 아울러 항온수 및 공정용액의 누출을 방지할 수 있는 공정용액 토출장치에 관한 것으로서, 회전하는 웨이퍼 표면에 공정용액을 토출하는 아암부의 튜브 선단에 노즐을 장착할 수 있는 노즐 장착부를 장착하였으며, 워터 자켓부는 구성부재인 워터 자켓과 공정용액 튜브간에 밀봉수단인 스웨이지 록 너트(swagelock nut)를 장착하여 공정용액의 누출을 방지하였다. 또한 밸브 조립체를 단일의 밸브로 구성하여 밸브의 유입구의 직경을 유출구의 직경보다 작게 구성함으로서 고속을 유입되는 공정용액을 워터 자켓부의 튜브로 공급할 수 있도록 구성하였다. |
