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发明名称 APPARATUS FOR BONDING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10247668(A) 申请公布日期 1998.09.14
申请号 JP19970069181 申请日期 1997.03.05
申请人 RICOH CO LTD 发明人 AZUMAGUCHI MASAHIRO
分类号 H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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