| 发明名称 |
SYSTEM AND METHOD FOR WASH-WATER PRODUCTION AND SUPPLY, AND WASHING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10244263(A) |
申请公布日期 |
1998.09.14 |
| 申请号 |
JP19970049491 |
申请日期 |
1997.03.04 |
| 申请人 |
FURONTETSUKU:KK |
发明人 |
GO GIRETSU;MIMORI KENICHI |
| 分类号 |
B08B3/08;C02F1/46;H01L21/304;(IPC1-7):C02F1/46 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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