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发明名称 SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10247631(A) 申请公布日期 1998.09.14
申请号 JP19970050766 申请日期 1997.03.05
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 MIZOHATA YASUHIRO
分类号 H01L21/306;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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