发明名称 |
CRYSTAL ORIENTATED CERAMIC SUBSTRATE AND DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10245298(A) |
申请公布日期 |
1998.09.14 |
申请号 |
JP19970062132 |
申请日期 |
1997.02.28 |
申请人 |
TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC |
发明人 |
TANI TOSHIHIKO;TAKEUCHI TSUGUTO |
分类号 |
C30B29/22;H01L21/8246;H01L23/13;H01L27/10;H01L27/105;H01L29/84;H01L37/02;H01L39/02;H01L39/24;H01L41/187;H01L43/10;H01L49/00;(IPC1-7):C30B29/22 |
主分类号 |
C30B29/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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