发明名称 CRYSTAL ORIENTATED CERAMIC SUBSTRATE AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10245298(A) 申请公布日期 1998.09.14
申请号 JP19970062132 申请日期 1997.02.28
申请人 TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC 发明人 TANI TOSHIHIKO;TAKEUCHI TSUGUTO
分类号 C30B29/22;H01L21/8246;H01L23/13;H01L27/10;H01L27/105;H01L29/84;H01L37/02;H01L39/02;H01L39/24;H01L41/187;H01L43/10;H01L49/00;(IPC1-7):C30B29/22 主分类号 C30B29/22
代理机构 代理人
主权项
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