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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10247685(A) 申请公布日期 1998.09.14
申请号 JP19970050319 申请日期 1997.03.05
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NISHIGORI MASATO
分类号 H01L21/76;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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