发明名称 |
OPTICAL MEMBER INSPECTING APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10246706(A) |
申请公布日期 |
1998.09.14 |
申请号 |
JP19970050760 |
申请日期 |
1997.03.05 |
申请人 |
ASAHI OPTICAL CO LTD |
发明人 |
SUGIURA MASAYUKI;YAMAMOTO KIYOSHI;NAKANISHI TAICHI |
分类号 |
G01N21/88;G01M11/00;G01N21/896;G01N21/93;G01N21/958;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/88 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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