发明名称 OPTICAL MEMBER INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10246706(A) 申请公布日期 1998.09.14
申请号 JP19970050760 申请日期 1997.03.05
申请人 ASAHI OPTICAL CO LTD 发明人 SUGIURA MASAYUKI;YAMAMOTO KIYOSHI;NAKANISHI TAICHI
分类号 G01N21/88;G01M11/00;G01N21/896;G01N21/93;G01N21/958;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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