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发明名称 SUBSTRATE FOR DIVIDING FINE MATTER AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH10244170(A) 申请公布日期 1998.09.14
申请号 JP19970049265 申请日期 1997.03.04
申请人 NIKON CORP 发明人 HARA SHINYA
分类号 C12M1/00;B01L3/00;(IPC1-7):B01L3/00 主分类号 C12M1/00
代理机构 代理人
主权项
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