| 发明名称 |
FILM FORMING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10247627(A) |
申请公布日期 |
1998.09.14 |
| 申请号 |
JP19970065453 |
申请日期 |
1997.03.04 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
HASHIMOTO TAKESHI;MATSUSE KIMIHIRO;OKUBO KAZUYA;TAKAHASHI TAKESHI |
| 分类号 |
H01L21/28;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
