发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10242262(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970061928 申请日期 1997.02.28
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 FUJIKAKE HIDEKI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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