发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10242162(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970043967 申请日期 1997.02.27
申请人 SONY CORP 发明人 YONEDA SHUJI
分类号 H01L29/417;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/417
代理机构 代理人
主权项
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