发明名称 SUBSTRATE CLEANING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH10242093(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970043237 申请日期 1997.02.27
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 YOSHIDA TAKESHI;MORITA AKIHIKO;YOSHIDA MASAHIRO;SASAKI TADASHI
分类号 B08B1/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
主权项
地址