发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10242438(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970353168 申请日期 1997.12.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MIZUNO HIROSHI;MAE YOICHIRO;SHIBATA HIDENORI;TSUZUKI KATSUO
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088;H01L27/118;(IPC1-7):H01L27/118;H01L21/823 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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