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经营范围
发明名称
BONDING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH10242173(A)
申请公布日期
1998.09.11
申请号
JP19970061823
申请日期
1997.02.28
申请人
SHIBUYA KOGYO CO LTD
发明人
SASAKI MOTOI;SAKANO TATSUYA;TAKAGI HIROYUKI
分类号
H01L21/52;H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/52
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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