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发明名称 THIN-FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10242471(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970047874 申请日期 1997.03.03
申请人 NEC CORP 发明人 TANABE HIROSHI
分类号 H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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