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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10242259(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970044134 申请日期 1997.02.27
申请人 NEC CORP 发明人 NODA KENJI
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L21/60;H01L21/762;H01L21/8234;H01L29/417;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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