| 发明名称 |
METHOD OF EVALUATING SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10242230(A) |
申请公布日期 |
1998.09.11 |
| 申请号 |
JP19970370312 |
申请日期 |
1997.12.25 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
MOTOURA HISAMI;ASANO HIDEKAZU |
| 分类号 |
G01N1/28;G01N1/32;G01N27/00;G01N33/00;H01L21/304;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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