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发明名称
EXPOSING METHOD
摘要
申请公布号
JPH10242043(A)
申请公布日期
1998.09.11
申请号
JP19970179684
申请日期
1997.07.04
申请人
NIKON CORP
发明人
UMAGOME NOBUTAKA;NAKAJIMA SHINICHI
分类号
G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F9/00
代理机构
代理人
主权项
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