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发明名称
SUBSTRATE CARRYING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10239855(A)
申请公布日期
1998.09.11
申请号
JP19970045561
申请日期
1997.02.28
申请人
NIKON CORP
发明人
HANAZAKI TETSUTSUGU;SHIRASU HIROSHI
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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