| 发明名称 |
STUCK SILICON WAFER AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10242439(A) |
申请公布日期 |
1998.09.11 |
| 申请号 |
JP19970061864 |
申请日期 |
1997.02.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP;MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
TANIGUCHI TORU;MORITA ETSURO |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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